UPT2XX系列超純壓力傳感器采用半導(dǎo)體專用超純不銹鋼材料、干式全固態(tài)結(jié)構(gòu)制造的傳感器,以確保滿足所需的超純、無(wú)油特性。適用于半導(dǎo)體、光伏、液晶面板制造設(shè)備的超純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)的壓力測(cè)量。
UPT2XX系列 超純壓力傳感器
產(chǎn)品概述:
UPT2XX系列超純壓力傳感器采用半導(dǎo)體專用超純不銹鋼材料、干式全固態(tài)結(jié)構(gòu)制造的傳感器,以確保滿足所需的超純、無(wú)油特性。適用于半導(dǎo)體、光伏、液晶面板制造設(shè)備的超純介質(zhì)和特殊氣體系統(tǒng)的壓力測(cè)量。
產(chǎn)品特點(diǎn):
干式無(wú)油結(jié)構(gòu)、EP電解拋光、316L VIM-VAR
應(yīng)用領(lǐng)域:
超高純氣體系統(tǒng)、特氣柜、特氣分配閥、半導(dǎo)體、光伏制造設(shè)備
性能參數(shù):
量 程 | 0-30MPa(可選) | 溫度補(bǔ)償 | -10-70°C |
精 度 | 0.25%FS、0.5%FS | 工作溫度 | -20-100°C |
輸 出 | 4-20mA、0-5V、0-10V、RS85 | 安全過(guò)載 | 200% |
供 電 | 24VDC、9-36VDC | 極限過(guò)載 | 400% |
過(guò)程連接 | 1/4VCR | 溫度漂移 | 0.02%FS/°C |
電氣連接 | 赫斯曼、防水出線、M12*1 | 長(zhǎng)期穩(wěn)定性 | 0.2%FS/年 |
負(fù)載能力 | 電流型:R=(U-8V)/0.02Ω | 接液材質(zhì) | 316L VIM-VAR |
產(chǎn)品系列圖片:

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產(chǎn)品系列尺寸圖:

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